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洁净室建筑之外单独建立机房,但其离洁净室更好很近,机房要注意隔振、隔音问题,地面应全部做防水处理,并有排水措施;
隔振:应在振源的风机、电机、水泵等的支架、底座作防振处理,甚至有的话将设备安在混凝土板块上,再用防振材料支撑该板块,该板块的重量应为设备总重量的2~3倍;
隔声:除去系统上安装消声器外,大型机房可考虑在墙壁上贴附有一定吸声性能的材料,要装隔声门,切忌在与洁净区的隔墙上开门。