光伏领域:在薄膜太阳能电池中,铟靶材可作为光吸收层形成用的溅射靶,如 Cu-In-Ga-Se 系(CIGS 系)薄膜太阳能电池,有助于提高太阳能电池的转换效率。
存储环境控制
温湿度:存储于干燥、恒温环境(温度 15~25℃,湿度≤40% RH),避免铟靶吸潮氧化(铟在潮湿空气中易生成 In₂O₃薄膜,影响溅射效率)。
防尘防潮:用铝箔或真空袋密封包装,存放于洁净柜中,防止灰尘附着或与其他化学物质接触。
防护措施
个人防护:操作时佩戴防静电手套、护目镜,避免直接接触铟靶(铟金属,但粉尘吸入可能刺激呼吸道,需在通风良好环境下操作)。
防火防爆:铟粉或碎屑属于可燃固体(引燃温度约 200℃),需远离明火,废弃靶材及碎屑应收集于专用容器中,按危险废弃物处理。
电磁屏蔽:射频溅射时需确保设备接地良好,防止电磁辐射对操作人员或周边仪器的干扰。
靶材回收与再利用
回收价值:报废铟靶(含溅射过程中产生的碎屑、废膜)可通过化学溶解(如盐酸溶解)、电解精炼等工艺回收铟金属(回收率可达 95% 以上),降低生产成本。
环保要求:回收过程中产生的废水需处理至重金属排放标准(如铟离子浓度≤0.1 mg/L),避免环境污染。