等离子光氧一体机工作原理：
当废气进入光氧机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活基团；之后这些活基团与分子或原子、活基团与活基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。)
然后部分有机废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无毒无害无味气体。采用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可有效地杀灭，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。在C波段激光催化剂涂层产生活，强化催化氧化作用。在分解过程中产生高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它异味有极强的效果。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中的分子键，破坏的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭菌的目的。
技术特点
1．无毒无任何副作用。完全超越了传统的臭氧等空气净化器，能在有人在场的环境中持续灭菌、除尘，对人体无毒副作用。能广譜地截获杀灭空气中的各类，测试证明对军团菌、金黄色葡萄球菌、枯草杆菌、黑色变种芽孢及自然菌杀灭率达99.9％以上，有效去除可吸入颗粒，达到1-10 万级洁净度。
2．污染有害气体异味，初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电时氧分子迅速离子化。失去电子的氧分子变成正极氧离子（O2+），而释放的电子又
与另一中氧分子结合变成负极氧离子（O2－），结果是氧离子的两级分化并吸附中氧分子形成O2+、O2－、O2 等氧聚集的离子群，具有极强的氧化，可在很短的时间内将污染空气中的有害成分氧化分解为无害的产物和水；
O2+e（3.6eV）→·O+O
H2O+e（5.09eV）→·OH+HO+·OH→·OH2